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GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 1558-2009
  • 名称：
    硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
  • 英文名称：
    Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2009-10-30
  • 实施日期：
    2010-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准修改采用SEMIMF13910704《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。
    本标准与SEMIMF13910704的主要差异如下:
    ---本标准在结构上主要依照我国国标编制格式,与SEMIMF13910704有所不同;
    ---本标准未引用偏差、关键词两章内容。
    本标准代替GB/T1558-1997《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。
    本标准与原标准相比主要有以下变化:
    ---对测量的碳原子含量有效范围进行了修改,室温下从硅中代位碳原子含量5×1015at·cm-3(0.1ppma)到碳原子的最大溶解度,77K 时检测下限为5×1014at·cm-3(0.01ppma);
    ---补充了术语、干扰因素报告三章;
    ---在操作步骤中增加了仪器检查内容。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
    本标准负责起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂。
    本标准主要起草人:何秀坤、李静、段曙光、梁洪。
    本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
    ---GB/T1558-1979、GB/T1558-1997。
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
    GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法
    GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 1558-1997
  • 引用标准：
    GB/T 6618 GB/T 14264
  • 采用标准：
    SEMI MF 1391-0704 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 （修改采用 MOD）
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子科技集团公司第四十六研究所 信息产业部专用材料质量监督检验中心 峨嵋半导体材料厂
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 提出部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准