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SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11498-2015
  • 名称：
    重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对重掺硅衬底单晶体中氧浓度总量的测试方法。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    工业和信息化部电子工业标准化研究院 信息产业专用材料质量监督检验中心 苏州晶瑞化学有限公司等
相关人员
暂无
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