收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
Test method for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T19199—2003《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》。
本标准与 GB/T19199—2003相比,主要有以下变化:
———增加了“规范性引用文件”“术语和定义”“干扰因素”和“测试环境”4章;
———扩展了半绝缘砷化镓单晶电阻率范围,将电阻率大于107Ω·cm 修改为大于106Ω·cm;
———将范围由“非掺杂半绝缘砷化镓单晶”修改为“非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶”;
———去除了0.4mm~2mm 厚度测试样品的解理制样方法;
———室温差示法测量时,将“仪器分辨率为0.5cm-1或1cm-1”,修改为“仪器分辨率1cm-1”。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会。
本标准起草人:何秀坤、李静、张雪囡。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T19199—2003。
-
适用范围：
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于106Ω·cm的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围：室温下从1.0×1015 atoms/cm3到代位碳原子的最大溶解度，77 K时检测下限为4.0×1014 atoms/cm3。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
-
代替标准：
GB/T 19199-2003
-
引用标准：
GB/T 14264
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 14849.1-1993
工业硅化学分析方法 1，10-二氮杂菲分光光度法测定铁量
-
GB/T 32280-2022
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
-
SH/T 3554-2013
石油化工钢制管道焊接热处理规范
-
YS/T 226.2-2009
硒化学分析方法 第2部分：锑量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
-
GB/T 4373.3-1984
砷化学分析方法 硫酸钡重量法测定硫量
-
YS/T 227.4-1994
碲中铁量的测定(邻菲啰啉吸光光度法)
-
DB53/T 749-2016
云南省工业硅粉水分的测定 红外加热法
-
GB/T 1557-2018
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
-
YB/T 136-1998
镀锡钢板（带）表面油和铬的试验方法
-
YS/T 226.8-2009
硒化学分析方法 第8部分：铜量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 37.3-2018
高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定砷量
-
GB/T 4192-1984
电真空器件及电光源用钨、钼材料电阻率的测试方法
-
YS/T 227.8-1994
碲中镁、钠量的测定(原子吸收分光光度法)
-
YS/T 1509.3-2021
硅碳复合负极材料化学分析方法？第3部分：铁、镍、锆、钙、铅、铝、铪含量的测定？电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
GB/T 4059-2018
硅多晶气氛区熔基磷检验方法
-
YS/T 1060-2015
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
-
GB/T 4298-1984
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
-
GB/T 37211.2-2018
金属锗化学分析方法 第2部分：铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
-
YS/T 519.2-2009
砷化学分析方法 第2部分：锑量的测定 孔雀绿分光光度法
-
GB/T 4373.1-1984
砷化学分析方法 溴酸钾容量法测定砷量
打开设置，点击
执行注册
