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GB/T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法

Germanium monocrystal-measurement of resistivity-DC linear four-point probe
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 26074-2010
  • 名称：
    锗单晶电阻率直流四探针测量方法
  • 英文名称：
    Germanium monocrystal-measurement of resistivity-DC linear four-point probe
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2011-01-10
  • 实施日期：
    2011-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《紧固件 质量保证体系》等410项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 金属材料的其他试验方法（77.040.99） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属化学分析方法（H10/19） 半金属及半导体材料分析方法（H17） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用直流四探针法测量锗单晶电阻率的方法。
    本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍锗单晶的电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍锗单晶圆片（简称圆片）的电阻率。测量范围为1×10-3Ω·cm～1×102Ω·cm。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 主管部门：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    南京中锗科技股份有限公司
相关人员
暂无
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