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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01×1013 cm－3～5×1015 cm－3。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 4060-2007
  • 引用标准：
    GB/T 620-2011 GB/T 626-2006 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 11446.1-2013 GB/T 13389 GB/T 14264 GB/T 25915.1-2010
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
  • 起草单位：
    江苏中能硅业科技发展有限公司 亚洲硅业(青海)有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 峨嵋半导体材料研究所
相关人员
暂无
关联标准