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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 4060-2018
  • 名称:
    硅多晶真空区熔基硼检验方法
  • 英文名称:
    Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2018-09-17
  • 实施日期:
    2019-06-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《中小学校普通教室照明设计安装卫生要求》等454项国家标准和6项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    冶金(77) 金属材料试验(77.040)
  • CCS分类:
    冶金(H) 金属化学分析方法(H10/19) 半金属及半导体材料分析方法(H17)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01×1013 cm-3~5×1015 cm-3。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 代替标准:
    GB/T 4060-2007
  • 引用标准:
    GB/T 620-2011 GB/T 626-2006 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 11446.1-2013 GB/T 13389 GB/T 14264 GB/T 25915.1-2010
相关部门
  • 归口单位:
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 主管部门:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
  • 起草单位:
    江苏中能硅业科技发展有限公司 亚洲硅业(青海)有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 峨嵋半导体材料研究所
相关人员
暂无
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