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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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归口单位：
2)
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
-
主管部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
-
起草单位：
江苏中能硅业科技发展有限公司
亚洲硅业(青海)有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
峨嵋半导体材料研究所
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