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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 35306-2017
  • 名称:
    硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
  • 英文名称:
    Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2017-12-29
  • 实施日期:
    2018-07-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《养老机构服务质量基本规范》等1090项国家标准、4项国家标准修改单和51项国家标准外文版的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    【 冶金(77) 金属材料试验(77.040) 】
  • CCS分类:
    【 冶金(H) 金属化学分析方法(H10/19) 半金属及半导体材料分析方法(H17) 】
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。本标准测定碳、氧含量的有效范围从5×1014 atoms·cm-3(0.01 ppma)到硅中代位碳和间隙氧的最大固溶度。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 6618 GB/T 8170 GB/T 14264 GB/T 29057 ASTM E131
相关部门
  • 归口单位:
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位:
    新特能源股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 亚洲硅业(青海)有限公司 宜昌南玻硅材料有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 昆明冶研新材料股份有限公司 陕西天宏硅材料有限责任公司
相关人员
暂无
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