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GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
基本信息
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标准号：
GB/T 37049-2018
-
名称：
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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英文名称：
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2018-12-28
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实施日期：
2019-04-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
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半金属及半导体材料分析方法（H17）
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