收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 37049-2018
  • 名称:
    电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
  • 英文名称:
    Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2018-12-28
  • 实施日期:
    2019-04-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    冶金(77) 金属材料试验(77.040) 金属材料化学分析(77.040.30)
  • CCS分类:
    冶金(H) 金属化学分析方法(H10/19) 半金属及半导体材料分析方法(H17)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
    本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5 ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 12963 GB/T 14264 GB/T 25915.1-2010 JJF 1159 SEMI C1 SEMI F63
相关部门
  • 归口单位:
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 起草单位:
    有研半导体材料有限公司 新特能源股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 宜昌南玻硅材料有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • SN/T 3121-2012 钢样中高含量钴的测定 离子交换分离电位滴定法
  • YS/T 1505-2021 高纯钌化学分析方法?杂质元素含量的测定?辉光放电质谱法
  • GB/T 8756-1988 锗晶体缺陷图谱
  • YS/T 375.6-1994 钯镍铜合金化学分析方法
  • YS/T 74.5-1994 镉化学分析方法二乙基二硫代氨基甲酸铅分光光度法测定铜量
  • YS/T 341.1-2006 镍精矿化学分析方法 镍量的测定 丁二酮肟沉淀分离-EDTA滴定法
  • YS/T 37.1-1992 高纯二氧化锗化学分析方法 硫氰酸汞分光光度法测定氯量
  • YS/T 426.5-2000 锑铍芯块化学分析方法 电感耦合等离子光谱法测定硅量
  • GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
  • GB/T 5163-1985 可渗性烧结金属材料 密度的测定
  • GB/T 13301-1991 金属材料电阻应变灵敏系数试验方法
  • GB/T 4700.1-1984 硅钙合金化学分析方法 高氯酸脱水重量法测定硅量
  • YS/T 227.10-1994 碲中砷量的测定(正戊醇萃取砷钼蓝分光光度法)
  • YS/T 227.3-1994 碲中铅量的测定(双硫腙--四氯化碳萃取吸光光度法)
  • YS/T 1509.3-2021 硅碳复合负极材料化学分析方法?第3部分:铁、镍、锆、钙、铅、铝、铪含量的测定?电感耦合等离子体原子发射光谱法
  • GB/T 8647.10-2006 镍化学分析方法 砷、镉、铅、锌、锑、铋、锡、钴、铜、锰、镁、硅、铝、铁量的测定 发射光谱法
  • YB/T 5312-2006 硅钙合金化学分析方法 高氯酸脱水重量法测定硅量
  • GB/T 14849.1-1993 工业硅化学分析方法 1,10-二氮杂菲分光光度法测定铁量
  • YS/T 746.15-2010 无铅锡基焊料化学分析方法 第15部分:锗含量的测定 水杨基荧光酮分光光度法
  • YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
用户分享资源

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合...

Test method for the content of metal imp...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com