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GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

Polished monocrystalline sapphire substrates
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 13843-1992
  • 名称：
    蓝宝石单晶抛光衬底片
  • 英文名称：
    Polished monocrystalline sapphire substrates
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1992-12-28
  • 实施日期：
    1993-08-01
  • 废止日期：
    2017-12-15
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 1556 GB 6618 GB 6619 GB 6621 GB 6624 GB 1031 GB 2828
  • 采用标准：
    SEMI M3:1983 （非等效采用 NEQ）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 起草单位：
    天津半导体技术研究所
相关人员
暂无
关联标准