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GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

Semiconductor materials cutting fluid
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 31469-2015
  • 名称:
    半导体材料切削液
  • 英文名称:
    Semiconductor materials cutting fluid
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2015-05-15
  • 实施日期:
    2016-01-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
    本标准起草单位:扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。
    本标准起草人:缪德俊、徐蓉艳、缪立山、彭新玲、丁浩、郭倩、蒲学军、王香。
  • 适用范围:
    本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备
    GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
    GB/T3143 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位———铂-钴色号)
    GB/T4472—2011 化工产品密度、相对密度的测定
    GB/T6368 表面活性剂 水溶液pH 值的测定 电位法
    GB/T6678 化工产品采样总则
    GB/T6680 液体化工产品采样通则
    GB/T6682—2008 分析实验室用水规格和试验方法
    GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
    GB/T10247 粘度测量方法
    GB/T11275 表面活性剂 含水量的测定
    GB/T11446.1 电子级水
    GB/T12582 液态烃类电导率测定法
    GB/T15346—2012 化学试剂 包装及标志
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 601 GB/T 603 GB/T 3143 GB/T 4472-2011 GB/T 6368 GB/T 6678 GB/T 6680 GB/T 6682-2008 GB/T 8170 GB/T 10247 GB/T 11275 GB/T 11446.1 GB/T 12582 GB/T 15346-2012
相关部门
  • 起草单位:
    中国电子技术标准化研究院 扬州市职业大学 西安飞讯光电有限公司 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 扬州华裕光伏材料有限公司
  • 归口单位:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无