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GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 19922-2005
  • 名称：
    硅片局部平整度非接触式标准测试方法
  • 英文名称：
    Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2005-09-19
  • 实施日期：
    2006-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 14264 ASTMF 1530-94
相关部门
  • 主管部门：
    工业和信息化部（电子）
  • 起草单位：
    洛阳单晶硅有限责任公司
  • 归口单位：
    信息产业部（电子）
相关人员
暂无
关联标准