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T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料试验综合（77.040.01）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子元件（L10/34）
电感器、变压器（L17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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