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GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

Test method for measuring flexure strength of silicon slices
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 15615-1995
  • 名称：
    硅片抗弯强度测试方法
  • 英文名称：
    Test method for measuring flexure strength of silicon slices
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1995-07-12
  • 实施日期：
    1996-02-01
  • 废止日期：
    2004-10-14
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 12964 GB 12965
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 起草单位：
    中南工业大学
相关人员
暂无
关联标准