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GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 8758-2006
  • 名称:
    砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
  • 英文名称:
    Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2006-07-18
  • 实施日期:
    2006-11-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【】
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分类信息
  • ICS分类:
    【 冶金(77) 金属材料试验(77.040) 金属材料试验综合(77.040.01) 】、
    【 冶金(77) 金属材料试验(77.040) 金属材料化学分析(77.040.30) 】
  • CCS分类:
    【 冶金(H) 金属化学分析方法(H10/19) 半金属及半导体材料分析方法(H17) 】、
    【 冶金(H) 金属理化性能试验方法(H20/29) 金属物理性能试验方法(H21) 】
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 代替标准:
    GB/T 8758-1988 GB/T 8758-1989
相关部门
  • 提出部门:
    中国有色金属工业协会
  • 归口单位:
    中国有色金属工业协会
  • 主管部门:
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位:
    北京有色金属研究总院
相关人员
暂无
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