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GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 8758-2006
  • 名称：
    砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
  • 英文名称：
    Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2006-07-18
  • 实施日期：
    2006-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 8758-1988 GB/T 8758-1989
相关部门
  • 提出部门：
    中国有色金属工业协会
  • 归口单位：
    中国有色金属工业协会
  • 主管部门：
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位：
    北京有色金属研究总院
相关人员
暂无
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