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SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 31455-1994
  • 名称：
    反渗透装置完好要求和检查评定方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    暂无
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1994-04-15
  • 实施日期：
    1994-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。
    本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    国营华东电子管厂
  • 提出部门：
    电子工业部经济运行与体制改革司
相关人员
  • 起草人：
    沈鹏
关联标准