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GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件

Specifications of physical vapour deposition TiN films
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 18682-2002
  • 名称：
    物理气相沉积TiN薄膜技术条件
  • 英文名称：
    Specifications of physical vapour deposition TiN films
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2002-03-10
  • 实施日期：
    2002-08-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 191 GB/T 3620.1 GB/T 3620.2 GB/T 4698 GB/T 5168 GB/T 5193 GB/T 6070 GB/T 8180 GB/T 11164-1999 GB/T 13384 GB/T 15827 JB/T 6075 JB/T 7506 JB/T 7673 JB/T 7705 JB/T 8554 JB/T 53021
相关部门
  • 提出部门：
    中国机械工业联合会
  • 主管部门：
    中国机械工业联合会
  • 起草单位：
    武汉材料保护研究所
  • 归口单位：
    全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准