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SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11275-2002
  • 名称：
    卧式液相外延系统通用规范
  • 英文名称：
    Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2002-10-30
  • 实施日期：
    2003-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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