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当前选择： CCS分类 电子元器件与信息技术（L） 电子工业生产设备（L95/99）
  • 电子工业生产设备综合（L95）
  • 表面防护设备（L96）
  • 加工专用设备（L97）
  • 检验专用设备（L98）
  • 其他生产设备（L99）
  • 标准号
  • 名称
  • 状态
  • 类型
  • 性质
  • 实施日期
  • SJ/T 31132-1994
    ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31131-1994
    4304型扩散炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31130-1994
    D051－22型高温氢气炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31128-1994
    近红外厚膜烧结炉完好要求和检查评定方法
    被代替
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31126-1994
    YL－1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31125-1994
    PET－5500型常压CVD完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31124-1994
    AEC－2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31121-1994
    JB－VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31120-1994
    KSM－MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31119-1994
    掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
    现行
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31118-1994
    RS－H80H型外圆 磨机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31117-1994
    15B型磨片机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31116-1994
    PLA－501F型光刻机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31115-1994
    精缩机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31114-1994
    TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31113-1994
    DB－3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31112-1994
    WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31111-1994
    AMC－7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31110-1994
    AMV－1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
  • SJ/T 31109-1994
    高压单晶炉完好要求和检查评定方法
    废止
    暂无
    推荐性
    1997-01-01
共 339 条