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GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    浙江海纳半导体有限公司 有研半导体硅材料股份公司 山东有研半导体材料有限公司 新美光（苏州）半导体科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
  • 起草人：
    潘金平 孙燕 闫志瑞 张果虎 库黎明 夏秋良
关联标准