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GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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起草单位：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会
相关人员
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起草人：
陈潇
何友琴
李展平
马农农
王东雪
张鑫
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