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GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
基本信息
标准号:
GB/T 40110-2021
名称:
表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
英文名称:
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
状态:
现行
类型:
国家标准
性质:
推荐性
发布日期:
2021-05-21
实施日期:
2021-12-01
废止日期:
暂无
相关公告:
实施公告【关于批准发布《包装容器 钢桶 第6部分:锥形开口钢桶》等386项推荐性国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
ICS分类:
【
化工技术(71)
分析化学(71.040)
化学分析(71.040.40)
】
CCS分类:
【
化工(G)
化工综合(G00/09)
基础标准与通用方法(G04)
】
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
起草单位:
中国计量科学研究院
华南理工大学
主管部门:
国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会
相关人员
起草人:
王海
王梅玲
张艾蕊
任丹华
徐昕荣
范燕
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