GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准号：
GB/T 40110-2021
名称：
表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
英文名称：
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
状态：
现行
类型：
国家标准
性质：
推荐性
发布日期：
2021-05-21
实施日期：
2021-12-01
废止日期：
暂无
相关公告：
实施公告【关于批准发布《包装容器 钢桶 第6部分：锥形开口钢桶》等386项推荐性国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
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【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
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CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
行标分类：
暂无
起草单位：
中国计量科学研究院
华南理工大学
主管部门：
国家标准化管理委员会
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会
起草人：
王海
王梅玲
张艾蕊
任丹华
徐昕荣
范燕
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