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GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 40110-2021
  • 名称：
    表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2021-05-21
  • 实施日期：
    2021-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《包装容器 钢桶 第6部分：锥形开口钢桶》等386项推荐性国家标准和3项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 采用标准：
    ISO 14706: 2014 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    中国计量科学研究院 华南理工大学
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会
相关人员
  • 起草人：
    王海 王梅玲 张艾蕊 任丹华 徐昕荣 范燕
关联标准