GB/T 25915.2-2021

洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

现行

国家标准

推荐性

2021-08-20

2022-03-01

暂无

实施公告【关于批准发布《钢铁及合金 硅含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》等450项推荐性国家标准和4项国家标准修改单的公告】

暂无

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GB/T 25915.2-2010

ISO 14644-2:2015 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 （等同采用 IDT）

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国家标准化管理委员会

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

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