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GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 21287-2007
相关部门
  • 起草单位：
    浙江省化工研究院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 联雄投资(上海)有限公司 联雄投资（上海）有限公司 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 昊华气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 和立气体（上海）有限公司 海宁市英德赛电子有限公司 福建久策气体股份有限公司 杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 上海申南特种气体有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 浙江东开半导体科技有限公司 昆明广瑞达特种气体有限责任公司 西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 西南化工研究设计院有限公司双流分公司 天津绿菱气体有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
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