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GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 21287-2021
  • 名称：
    电子特气 三氟化氮
  • 英文名称：
    Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2021-10-11
  • 实施日期：
    2022-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《数据中心能效限定值及能效等级》等602项国家标准和1项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 21287-2007
相关部门
  • 起草单位：
    浙江省化工研究院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 联雄投资(上海)有限公司 联雄投资（上海）有限公司 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 昊华气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 和立气体（上海）有限公司 海宁市英德赛电子有限公司 福建久策气体股份有限公司 杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 上海申南特种气体有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 浙江东开半导体科技有限公司 昆明广瑞达特种气体有限责任公司 西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 西南化工研究设计院有限公司双流分公司 天津绿菱气体有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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暂无
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