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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
基本信息
分类信息
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ICS分类：
【
电子学（31）
电子电信设备用机电元件（31.220）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
电子工业生产设备综合（L95）
】
-
行标分类：
暂无
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