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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 东莞市中镓半导体科技有限公司 北京北方华创微电子装备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 中电科电子装备集团有限公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 上海微电子装备（集团）股份有限公司 江苏卓远半导体有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准