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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 40577-2021
  • 名称：
    集成电路制造设备术语
  • 英文名称：
    Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2021-10-11
  • 实施日期：
    2022-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《数据中心能效限定值及能效等级》等602项国家标准和1项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 电子学（31） 电子电信设备用机电元件（31.220） 】
  • CCS分类：
    【 电子元器件与信息技术（L） 电子工业生产设备（L95/99） 电子工业生产设备综合（L95） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 东莞市中镓半导体科技有限公司 北京北方华创微电子装备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 中电科电子装备集团有限公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 上海微电子装备（集团）股份有限公司 江苏卓远半导体有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
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