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GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
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标准号:
GB/T 41153-2021
-
名称:
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
-
英文名称:
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
-
状态:
现行
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类型:
国家标准
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性质:
推荐性
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发布日期:
2021-12-31
-
实施日期:
2022-07-01
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废止日期:
暂无
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相关公告:
实施公告【关于批准发布《全息位置地图数据内容》等530项推荐性国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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金属化学分析方法(H10/19)
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