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GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 41153-2021
  • 名称：
    碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
  • 英文名称：
    Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2021-12-31
  • 实施日期：
    2022-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《全息位置地图数据内容》等530项推荐性国家标准和2项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院有限责任公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 中国电子科技集团公司第四十六研究所 山东天岳先进科技股份有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准