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GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
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标准号：
GB/T 41153-2021
-
名称：
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
-
英文名称：
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2021-12-31
-
实施日期：
2022-07-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《全息位置地图数据内容》等530项推荐性国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
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