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GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料化学分析（77.040.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属化学性能试验方法（H25）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
起草单位：
峨嵋半导体材料厂
相关人员
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