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GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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归口单位：
中国有色金属工业协会
-
主管部门：
中国有色金属工业协会
-
起草单位：
有色金属研究总院
中国科学院原子核研究所
相关人员
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