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GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
暂无
-
CCS分类:
【
冶金(H)
金属理化性能试验方法(H20/29)
金属物理性能试验方法(H21)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
-
引用标准:
GB 2828
GB 6615
-
采用标准:
ASTM F81:1982 (等效采用 EQV)
相关部门
-
归口单位:
中国有色金属工业协会
-
主管部门:
中国有色金属工业协会
-
起草单位:
峨嵋半导体材料研究所
相关人员
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