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GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
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引用标准：
GB 2828
GB 6615
-
采用标准：
ASTM F81:1982 （等效采用 EQV）
相关部门
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归口单位：
中国有色金属工业协会
-
主管部门：
中国有色金属工业协会
-
起草单位：
峨嵋半导体材料研究所
相关人员
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