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GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 11073-1989
  • 名称:
    硅片径向电阻率变化的测量方法
  • 英文名称:
    Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
  • 状态:
    废止
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1989-03-31
  • 实施日期:
    1990-02-01
  • 废止日期:
    2008-02-01
  • 相关公告:
    修订公告【】
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分类信息
  • ICS分类:
    暂无
  • CCS分类:
    冶金(H) 金属理化性能试验方法(H20/29) 金属物理性能试验方法(H21)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB 2828 GB 6615
  • 采用标准:
    ASTM F81:1982 (等效采用 EQV)
相关部门
  • 归口单位:
    中国有色金属工业协会
  • 主管部门:
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位:
    峨嵋半导体材料研究所
相关人员
暂无
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