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GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 11073-1989
  • 名称：
    硅片径向电阻率变化的测量方法
  • 英文名称：
    Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1989-03-31
  • 实施日期：
    1990-02-01
  • 废止日期：
    2008-02-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 2828 GB 6615
  • 采用标准：
    ASTM F81:1982 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 归口单位：
    中国有色金属工业协会
  • 主管部门：
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位：
    峨嵋半导体材料研究所
相关人员
暂无
关联标准