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SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
基本信息
分类信息
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ICS分类：
暂无
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CCS分类：
【
医药、卫生、劳动保护（C）
医药、卫生、劳动保护综合（C00/09）
技术管理（C01）
】
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行标分类：
描述信息
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