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SJ/T 31153-1994 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法
基本信息
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标准号：
SJ/T 31153-1994
-
名称：
超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法
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英文名称：
暂无
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状态：
废止
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类型：
暂无
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性质：
推荐性
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发布日期：
暂无
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实施日期：
1991-07-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
暂无
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ICS分类：
暂无
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CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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