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YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
基本信息
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标准号:
YS/T 15-1991
-
名称:
硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
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英文名称:
暂无
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状态:
被代替
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类型:
行业标准
-
性质:
推荐性
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发布日期:
1991-04-26
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实施日期:
1992-06-01
-
废止日期:
暂无
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相关公告:
修订公告【2015年第7号(总第187号)】
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电气工程(29)
半导体材料(29.045)
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