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YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
基本信息
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标准号：
YS/T 14-1991
-
名称：
导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
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英文名称：
暂无
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状态：
被代替
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类型：
行业标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
1991-04-26
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实施日期：
1992-06-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
修订公告【2015年第7号(总第187号)】
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CCS分类：
【
冶金（H）
半金属与半导体材料（H80/84）
元素半导体材料（H82）
】
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行标分类：
描述信息
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