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JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等

基本信息
  • 标准号：
    JB/T 5630-1991
  • 名称：
    半导体器件扩散炉能耗分等
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1991-08-27
  • 实施日期：
    1992-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。
    本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
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