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JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件
基本信息
- 标准号:JB/T 4082-1991
- 名称:溅射离子泵 技术条件
- 公告名称:溅射离子泵技术条件
- 英文名称:暂无
- 状态:被代替
- 类型:行业标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1991-07-22
- 实施日期:1992-07-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:暂无
- CCS分类:【 】
- 行标分类:【 】
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。
- 引用标准:暂无
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