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JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

基本信息
  • 标准号：
    JB/T 4081-1991
  • 名称：
    溅射离子泵型式与基本参数
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    被代替
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1991-07-22
  • 实施日期：
    1992-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    修订公告【2012年第2号(总第146号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
相关部门
暂无
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暂无
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