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JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数
基本信息
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标准号:
JB/T 4081-1991
-
名称:
溅射离子泵型式与基本参数
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英文名称:
暂无
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状态:
被代替
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类型:
行业标准
-
性质:
推荐性
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发布日期:
1991-07-22
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实施日期:
1992-07-01
-
废止日期:
暂无
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相关公告:
修订公告【2012年第2号(总第146号)】
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】
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