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JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

基本信息
  • 标准号:
    JB/T 4081-1991
  • 名称:
    溅射离子泵型式与基本参数
  • 英文名称:
    暂无
  • 状态:
    被代替
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1991-07-22
  • 实施日期:
    1992-07-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    修订公告【2012年第2号(总第146号)】
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分类信息
  • ICS分类:
    暂无
  • CCS分类:
    机械(J) 通用机械与设备(J70/89) 真空技术与设备(J78)
  • 行标分类:
    机械(JB)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。
  • 引用标准:
    暂无
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暂无
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暂无
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暂无
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