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JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数
基本信息
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标准号：
JB/T 4081-1991
-
名称：
溅射离子泵型式与基本参数
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英文名称：
暂无
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状态：
被代替
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类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
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发布日期：
1991-07-22
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实施日期：
1992-07-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
修订公告【2012年第2号(总第146号)】
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CCS分类：
【
机械（J）
通用机械与设备（J70/89）
真空技术与设备（J78）
】
-
行标分类：
描述信息
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