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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 13389-1992
  • 名称：
    掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
  • 英文名称：
    Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1992-02-19
  • 实施日期：
    1992-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《复合橡胶 通用技术规范》等107项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 6615
  • 采用标准：
    ASTM F723:1987 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    峨嵋半导体材料研究所
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准