收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 13388-1992
  • 名称：
    硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
  • 英文名称：
    Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1992-02-19
  • 实施日期：
    1992-10-01
  • 废止日期：
    2010-06-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 2828
  • 采用标准：
    ASTM F847:1983 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    北京有色金属研究总院
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准