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SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件

General specification of electron beam exposure system
基本信息
  • 标准号:
    SJ/T 10312-1992
  • 名称:
    电子束暴光机通用技术条件
  • 英文名称:
    General specification of electron beam exposure system
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1992-06-15
  • 实施日期:
    1992-12-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    暂无
  • CCS分类:
    医药、卫生、劳动保护(C) 医药、卫生、劳动保护综合(C00/09) 技术管理(C01)
  • 行标分类:
    电子(SJ)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
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暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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