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YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
基本信息
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标准号：
YS/T 23-1992
-
名称：
硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
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英文名称：
暂无
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状态：
被代替
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类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
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发布日期：
1992-03-09
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实施日期：
1993-01-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
修订公告【2016年第6号(总第198号)】
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分类信息
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ICS分类：
【
电气工程（29）
半导体材料（29.045）
】
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CCS分类：
【
冶金（H）
半金属与半导体材料（H80/84）
半金属与半导体材料综合（H80）
】
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行标分类：
描述信息
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