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YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
基本信息
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标准号:
YS/T 23-1992
-
名称:
硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
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英文名称:
暂无
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状态:
被代替
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类型:
行业标准
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性质:
推荐性
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发布日期:
1992-03-09
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实施日期:
1993-01-01
-
废止日期:
暂无
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相关公告:
修订公告【2016年第6号(总第198号)】
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电气工程(29)
半导体材料(29.045)
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【
冶金(H)
半金属与半导体材料(H80/84)
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行标分类:
描述信息
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