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YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
基本信息
- 标准号:YS/T 23-1992
- 名称:硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
- 英文名称:暂无
- 状态:被代替
- 类型:行业标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1992-03-09
- 实施日期:1993-01-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:【 】
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标 准 规 定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法
本标 准 适 用于在,tloo>和(110)晶向的硅单晶衬底仁生长的硅外延层厚度的测缝
外延 层 中 应存在着发育完整的堆垛层错,其大小可用干涉相衬显微镜r:接观察(非破坏性的),或经化学腐蚀后用金相显微镜观察(破坏性的)。测量范围为2^75 um. - 引用标准:暂无
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