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YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
基本信息
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标准号：
YS/T 27-1992
-
名称：
晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
-
英文名称：
暂无
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状态：
现行
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类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
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发布日期：
1992-03-09
-
实施日期：
1993-01-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
暂无
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