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YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
基本信息
- 标准号:YS/T 26-1992
- 名称:硅片边缘轮廓检验方法
- 英文名称:暂无
- 状态:被代替
- 类型:行业标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1992-03-09
- 实施日期:1993-01-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】、【 】
- 行标分类:【 】
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 采用标准:ASTM F 928-1985 (等效采用 EQV)
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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