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YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法

基本信息
  • 标准号：
    YS/T 26-1992
  • 名称：
    硅片边缘轮廓检验方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    被代替
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1992-03-09
  • 实施日期：
    1993-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    修订公告【2016年第11号(总第203号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属理化性能试验方法（H20/29） 金属物理性能试验方法（H21） 】、
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 半金属（H81） 】
  • 行标分类：
    【 有色冶金（YS） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
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  • 采用标准：
    ASTM F 928-1985 （等效采用 EQV）
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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