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YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法

基本信息
  • 标准号:
    YS/T 26-1992
  • 名称:
    硅片边缘轮廓检验方法
  • 英文名称:
    暂无
  • 状态:
    被代替
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1992-03-09
  • 实施日期:
    1993-01-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    修订公告【2016年第11号(总第203号)】
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分类信息
  • ICS分类:
    电气工程(29) 半导体材料(29.045)
  • CCS分类:
    冶金(H) 金属理化性能试验方法(H20/29) 金属物理性能试验方法(H21) 】、
    冶金(H) 半金属与半导体材料(H80/84) 半金属(H81)
  • 行标分类:
    有色冶金(YS)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 采用标准:
    ASTM F 928-1985 (等效采用 EQV)
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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