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YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法

基本信息
  • 标准号：
    YS/T 24-1992
  • 名称：
    外延钉缺陷的检验方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    被代替
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1992-03-09
  • 实施日期：
    1993-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    修订公告【2016年第6号(总第198号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 半金属与半导体材料综合（H80） 】
  • 行标分类：
    【 有色冶金（YS） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法
    本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连，本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
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暂无
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暂无
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