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GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
Silicon on sapphire epitaxial wafers
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子设备与专用材料、零件、结构件（L90/94）
电子技术专用材料（L90）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
起草单位：
天津半导体技术研究所
相关人员
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