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GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属无损检验方法（H26）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
起草单位：
峨眉半导体材料研究所
相关人员
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