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GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contract microscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金相检验方法（H24）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
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引用标准：
GB 2828
-
采用标准：
ASTM F522-84 （非等效采用 NEQ）
相关部门
-
主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
起草单位：
上海有色金属研究所
相关人员
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