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GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial，diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 14141-1993
  • 名称：
    硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
  • 英文名称：
    Test method for sheet resistance of silicon epitaxial，diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1993-02-06
  • 实施日期：
    1993-10-01
  • 废止日期：
    2010-06-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 6615 GB 11073
  • 采用标准：
    ASTM 374:1984 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 起草单位：
    峨眉半导体材料研究所
相关人员
暂无
关联标准