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GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial，diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
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引用标准：
GB 6615
GB 11073
-
采用标准：
ASTM 374:1984 （等效采用 EQV）
相关部门
-
主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
起草单位：
峨眉半导体材料研究所
相关人员
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