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GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method基本信息
- 标准号:GB/T 14140.2-1993
- 名称:硅片直径测量方法 千分尺法
- 英文名称:Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
- 状态:废止
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1993-02-06
- 实施日期:1993-10-01
- 废止日期:2010-06-01
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】、【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB 2828 GB 12962
相关部门
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 起草单位:洛阳单晶硅厂
相关人员
暂无
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