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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
金属材料试验(77.040)
金属材料试验综合(77.040.01)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
金属理化性能试验方法(H20/29)
金属物理性能试验方法(H21)
】、
【
冶金(H)
半金属与半导体材料(H80/84)
半金属(H81)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门:
国家标准化管理委员会
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归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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起草单位:
洛阳单晶硅厂
相关人员
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