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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料试验综合（77.040.01）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】、
【
冶金（H）
半金属与半导体材料（H80/84）
半金属（H81）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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起草单位：
洛阳单晶硅厂
相关人员
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