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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 14140.1-1993
  • 名称：
    硅片直径测量方法 光学投影法
  • 英文名称：
    Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1993-02-06
  • 实施日期：
    1993-10-01
  • 废止日期：
    2010-06-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 2828 GB 12962
  • 采用标准：
    ASTM F613:1987 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 起草单位：
    洛阳单晶硅厂
相关人员
暂无
关联标准