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GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

Gases for electronic industry--Oxygen
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 14604-1993
  • 名称:
    电子工业用气体 氧
  • 英文名称:
    Gases for electronic industry--Oxygen
  • 状态:
    废止
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1993-08-26
  • 实施日期:
    1994-07-01
  • 废止日期:
    2010-05-01
  • 相关公告:
    修订公告【】
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分类信息
  • ICS分类:
    化工技术(71) 化工产品(71.100) 工业气体(71.100.20)
  • CCS分类:
    化工(G) 其他化工产品(G85/89) 工业气体与化学气体(G86)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB 190 GB 3863 GB 4844 GB 5099 GB 5832.2 GB 6680 GB 6681 GB 7144 GB 7445 GB 8984 GB 8991 GB/T 14605 GB/T 14606
  • 采用标准:
    SEMI C3.16-88 (修改采用 MOD) C3.17-90 (修改采用 MOD)
相关部门
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位:
    化工部西南化工研究院
相关人员
暂无
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