收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

Gases for electronic industry--Oxygen
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 14604-1993
  • 名称：
    电子工业用气体 氧
  • 英文名称：
    Gases for electronic industry--Oxygen
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1993-08-26
  • 实施日期：
    1994-07-01
  • 废止日期：
    2010-05-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB 3863 GB 4844 GB 5099 GB 5832.2 GB 6680 GB 6681 GB 7144 GB 7445 GB 8984 GB 8991 GB/T 14605 GB/T 14606
  • 采用标准：
    SEMI C3.16-88 （修改采用 MOD） C3.17-90 （修改采用 MOD）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    化工部西南化工研究院
相关人员
暂无
关联标准