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GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 14847-1993
  • 名称：
    重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
  • 英文名称：
    Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1993-12-30
  • 实施日期：
    1994-09-01
  • 废止日期：
    2011-10-01
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《紧固件 质量保证体系》等410项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 6379
  • 采用标准：
    ASTM F95:1989 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 起草单位：
    机电部四十六所
相关人员
暂无
关联标准