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GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

Gas for electronic industry--Phosphine
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 14851-1993
  • 名称：
    电子工业用气体 磷化氢
  • 英文名称：
    Gas for electronic industry--Phosphine
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1993-12-30
  • 实施日期：
    1994-10-01
  • 废止日期：
    2010-05-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    暂无
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
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  • 引用标准：
    GB 190 GB 4845 GB 5099 GB 5274 GB 5832.1 GB 7144 GB 7445 GB 8980 GB 9721
  • 采用标准：
    SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988 （非等效采用 NEQ）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    化工部光明化工研究所
相关人员
暂无
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